الفولاذ المقاوم للصدأ أشباه الموصلات: 316L VIM-VAR VS . 904 l

 

لماذا يذوب الفراغ 316L لأدوات الرقاقة؟
vim-var (تحريض الفراغ المذاب-القوس vacuum remelted) يقلل من الادراج إلى<5 particles/cm² >0 . 3μm. محتوى الغاز (O₂<30ppm, N₂ <150ppm) prevents micro-outgassing in vacuum chambers. Surface roughness Ra ≤0.05μm achievable.

 

متى يتم تحديد 904L للمقاعد الرطبة؟
904L resists HF/HNO₃ acid mixtures during wafer etching. Copper addition (1-2%) improves sulfuric acid resistance. PREN >35 يمنع التآكل في الماء الفائق (18 م Ω · مقاومة سم) .

 

كيف تمنع العلاجات السطحية التلوث؟
يزيل electropolishing 10-15 μM طبقة مصفولة بالعمل . صدمة ليزر تحفز الإجهاد الضغط على تقليل ترحيل أيون . الصلب الهيدروجين يقلل من طاقة السطح إلى الحد من التصاق الجسيمات .

 

التحمل الحرجة لأنظمة توصيل الغاز؟
السطح الداخلي RA أقل من أو يساوي 0 . 13μm. معدل تسرب<1×10⁻⁹ mbar·L/s helium. Outgassing rate <5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm². Particulate count: ≤5 particles >0 . 1μm لكل قدم خطية.

 

اختبار التحقق من الصحة لمكونات الغرفة النظيفة؟
تحليل SEM-EDS لتخطيط التضمين . ICP-MS للترشيح الأيوني المعدني (na⁺<50ppb, Fe⁺⁺ <10ppb). Vapor phase decomposition for surface metallic contamination.